真空装置用アクチュエータ
半導体・FPD業界において使用される真空装置。その中で構成されている真空チャンバーのメンテナンスで、専用設計されたアクチュエータが採用されています。
Technology of Linear Actuators Semiconductor, OLED, LCD, Medical …
半導体、液晶、有機EL、医療などクリーン環境でご使用いただける専用設計の電動リニアアクチュエータ。数多くの実績と経験でお客様のご要望にお応えします。
半導体・FPD業界において使用される真空装置。その中で構成されている真空チャンバーのメンテナンスで、専用設計されたアクチュエータが採用されています。
様々なクリーン環境に適した電動式リフタを制作しています。その中でも高頻度、偏荷重など様々な特別用途に合った専用設計でお客様のご要望にお応えします。
第8世代、第10世代と大型化してきたフラットパネルディスプレイ。クリーン環境におけるガラス搬送で使用される カセットチェンジャーとして、国内だけでなく、海外においても数多く採用されています。
半導体のシリコン形成するために使用されるジャッキシステム。昇降荷重20tonの大型昇降システム。
信頼が必要とされる医療機器において専用設計された駆動機器を製作しています。